技术系统:精密曲面光学元件缺陷检测仪

工业算法研究部基于硬件和软件的协同优化设计,通过融合多模态照明和多通道传感的先进显微成像关键技术,结合智能缺陷识别算法,实现了大口径精密曲面光学元件表面缺陷的高精度定量检测。设备可实现国家重大领域大口径超精密光学元件缺陷检测、民用光学产品中光学零部件的自动化质检等。目前,该设备应用于中物院激光聚变研究中心、中国科学院光电技术研究所等单位。

科研成果